Beth yw hidlydd ULPA? Sut Mae'n Wahanol I HEPA, a Lle Mae'n Perthyn Mewn gwirionedd

Mae hidlydd ULPA yn hidlydd Aer Treiddiad Isel Ultra- wedi'i ddosbarthu o dan EN 1822 Group U. Y terfynau dosbarth yw:

•U15: effeithlonrwydd annatod Yn fwy na neu'n hafal i 99.9995%

•U16: effeithlonrwydd annatod Yn fwy na neu'n hafal i 99.99995%

•U17: effeithlonrwydd annatod Yn fwy na neu'n hafal i 99.999995%

Dyna'r ochr ddosbarthu ffurfiol. Yn y farchnad, fe welwch hefyd gynhyrchion ULPA a ddisgrifir fel 99.9995% ar 0.1-0.2 μm neu tua 0.12 μm, yn enwedig mewn cynhyrchion panel ystafell lân sydd wedi'u hanelu at electroneg. Er enghraifft, cyhoeddir cynnyrch ULPA boron isel ar gyfer defnydd lled-ddargludyddion ar 99.9995% @ 0.1–0.2 μm, ac mae llawer o ganllawiau cymharu yn defnyddio 0.12 μm fel maint cyfeirio ymarferol ar gyfer trafodaethau ULPA.

Pan fydd prynwyr yn gofyn am effeithlonrwydd hidlo U15, maen nhw fel arfer eisiau'r fersiwn fer:

•U15 yw'r dosbarth ULPA mynediad

•o dan EN 1822, caiff ei raddio ar 99.9995% o effeithlonrwydd annatod

•mewn llenyddiaeth cynnyrch, fe'i disgrifir yn aml tua 0.1–0.2 μm perfformiad

• mae'n eistedd uwchlaw H14 mewn effeithlonrwydd hidlo ac fel arfer uwchlaw H14 o ran gwrthiant a chost cychwynnol hefyd

Mae ein peirianwyr yn aml yn gweld prynwyr yn cymysgu tair system wahanol:

•ISO 16890 / etifeddiaeth EN 779 ar gyfer hidlwyr awyru cyffredinol

•EN 1822 / ISO 29463 ar gyfer EPA, HEPA, ac ULPA

• termau maes fel "HEPA meddygol" neu "cleanroom ULPA"

Peidiwch â chymharu aG4, MERV 8, neu hidlydd ePM1i apanel U15fel pe baent yn perthyn i'r un goeden benderfynu. Nid ydynt yn gwneud. Mae ULPA yn perthyn i ochr hidlo absoliwt y farchnad

Mae'r bwlch effeithlonrwydd sylfaenol yn hawdd i'w nodi. Y rhan galetach yw egluro beth mae’r bwlch hwnnw’n ei wneud i’r system.

O dan EN 1822:

H13:Mwy na neu'n hafal i 99.95%

H14:Yn fwy na neu'n hafal i 99.995%

U15:Yn fwy na neu'n hafal i 99.9995%

U16:Yn fwy na neu'n hafal i 99.99995%

U17:Yn fwy na neu'n hafal i 99.999995%

Mae hynny'n golygu aULPA vs hidlydd HEPANid mater o "aer glanach" yn unig yw penderfyniad. Mae fel arfer yn effeithio ar:

Gostyngiad Pwysau Cychwynnol

dewis ffan

Defnydd ynni modiwl FFU neu derfynell

economeg egwyl cyfnewid

disgwyliadau gollwng{0}}profion a chymwysterau

a yw'r broses wir yn elwa o'r ffracsiwn olaf hwnnw o effeithlonrwydd

Mae'r cyfnewid hwn i'w weld yn glir yn aml mewn llinellau cynnyrch ystafell lân lled-ddargludyddion. Mae eu paneli microelectroneg ar gael mewn meintiau H14 ac U15-U17, gan bwysleisio gostyngiad gwasgedd isel, rhyddhau nwy isel iawn, ac addasrwydd ar gyfer ystafelloedd glân a chyfarpar microelectronig. Mae hyn yn dangos yn bwerus, ar ôl i chi fynd i mewn i faes hidlo aer lled-ddargludyddion, nad yw'r drafodaeth bellach yn ymwneud â thynnu deunydd gronynnol yn unig, ond yn ystyriaeth gynhwysfawr o reoli gronynnau, glendid lefel moleciwlaidd, a'r defnydd o ynni.

Ffordd -Saesneg plaen i edrych arno

HEPA yn aml yw'r ateb cywir pan fydd yr ystafell wedi'i hadeiladu o amgylch rheoli heintiau, amddiffyn cynnyrch, neu lendid uchel heb sensitifrwydd gronynnau eithafol.

ULPA yw'r ateb cywir pan fo'r broses yn sensitif i ronynnau llai, goddefgarwch diffygion is, a thargedau ystafell lân llawer tynnach.

Dyna pam nad yw datganiad cyffredinol fel "ULPA yn well" yn ddefnyddiol. Mewn llawer o brosiectau, mae ULPA yn well dim ond os gall y broses gyfiawnhau'r gostyngiad pwysau ychwanegol a'r gost.

Dyma lle mae rhesymeg cymhwysiad yn bwysicach nag iaith llyfryn.

Ystafelloedd llawdriniaeth a mannau gofal iechyd

Mae ASHRAE 170 yn gosod y llinell sylfaen hidlo ar gyfer ystafelloedd llawdriniaeth ar o leiaf MERV 16, ac mae'n galw'n benodol am hidlwyr HEPA yn y ddyfais derfynell aer mewn rhai achosion NEU arbenigol megis gweithdrefnau orthopedig, trawsblaniadau, niwrolawdriniaeth, a gweithdrefnau llosgi pwrpasol. Mewn geiriau eraill, nid yw canllawiau gofal iechyd yn trin ULPA fel yr ateb diofyn ar gyfer dyluniad NEU safonol. Hyd yn oed pan ddefnyddir HEPA, y nod yw-rheoli risg haint a llif aer gwarchodedig dros y maes llawfeddygol, nid-amddiffyniad lefel lled-ddargludyddion.

Felly pan fydd prynwyr yn dweud "mae ystafelloedd llawdriniaeth yn defnyddio HEPA," dyna'r cyfeiriad cywir yn gyffredinol. Mae'r targed hidlo gofal iechyd yn uchel, ond mae'n cael ei yrru gan ddiogelwch cleifion a dyluniad llif aer gweithdrefnol, nid gan sensitifrwydd gronynnau a moleciwlaidd prosesau wafferi.

Fabs lled-ddargludyddion ac electroneg uwch

Mae cyfleusterau lled-ddargludyddion yn fyd gwahanol. Mae canllawiau lled-ddargludyddion Camfil yn nodi bod fabs yn defnyddio datrysiadau hidlo cyflawn a rheolaeth AMC i ostwng crynodiadau gronynnol a moleciwlaidd i lefelau Dosbarth 1 ISO ar gyfer gronynnau a lefelau is{{3}ppb ar gyfer halogiad moleciwlaidd yn yr aer. Mae eu paneli ystafell lân sy'n canolbwyntio ar electroneg yn cael eu cynnig yn HEPA H14 ac ULPA U15, U16, U17, yn benodol ar gyfer diwydiant microelectronig a chyda chydrannau allnwyo isel iawn.

Dyna pam mae cynhyrchu sglodion uwch yn aml yn symud y tu hwnt i HEPA ac i ULPA, yn enwedig mewn parthau prosesau critigol, amgylcheddau offer bach, ardaloedd lithograffeg, neu rannau eraill o'r fab lle mae gronynnau llai a halogiad moleciwlaidd yn taro'r cynnyrch yn uniongyrchol. Ffordd ymarferol o ddweud hyn yw:

mae'r ysbyty yn diogelu cleifion a gweithdrefnau

mae'r sglodyn fab yn diogelu cnwd ar drothwy diffygion llawer tynnach

Yr un gair: glân. Trothwy gwahanol iawn.

Dyma un o'r manylion y mae llawer o brynwyr nad ydynt yn-electroneg yn eu colli.

Mewn ystafelloedd glân lled-ddargludyddion, ni ellir trin yr hidlydd fel blwch anadweithiol. Gall yr hidlydd ei hun ddod yn ffynhonnell halogiad os yw'r cyfryngau neu'r cydrannau'n trechu dopants diangen neu halogion moleciwlaidd.

Canfu astudiaeth ym 1991 ar ficroelectroneg silicon fod halogiad boron yn yr awyr wedi'i olrhain i wydr borosilicate mewn hidlwyr aer gronynnol effeithlonrwydd uchel. Nododd adroddiadau diwydiant diweddarach fod cyflenwyr cyfryngau ffibr gwydr traddodiadol wedi datblygu cynhyrchion boron isel, a chafodd y cyfryngau hynny dderbyniad marchnad mewn ymateb i ofynion lled-ddargludyddion.

Mae'r cefndir hwnnw'n esbonio pam mae cynhyrchion electroneg modern -gradd ULPA yn pwysleisio -boron isel, dopant -rhad ac am ddim, neu -adeiladu rhy isel. Mae un cynnyrch boron ULPA isel cyfredol ar gyfer cymwysiadau lled-ddargludyddion is-14 nm yn nodi bod cyfryngau ffibr gwydr isel yn atal halogiad boron a gludir gan hidlo, ac yn rhybuddio'n benodol y gall boron mewn cyfryngau ULPA safonol or-nwyo mewn -lif aer purdeb uchel ac achosi llif aer anfwriadol - Mae Camfil yn gwneud pwynt tebyg o ongl arall drwy hyrwyddo cydrannau hynod isel o nwyon llosg, heb dopant yn ei baneli ystafell lân microelectroneg.

Os yw eich prosiect yn:

• gwneuthuriad wafferi

•lithograffeg

•cotio ffotoresist / datguddiad

•pecynnu uwch

•offer microelectroneg neu amgylcheddau bach

yna dylai'r sgwrs fynd y tu hwntEffeithlonrwydd ULPAac yn cynnwys:

•cyfryngau boron isel

•dopant-adeiladu am ddim

•gostyngiad organig isel

•cydnaws â strategaeth reoli AMC

Ar gyfer hidlo aer lled-ddargludyddion, nid yw hynny'n eitem moethus. Mae'n rhan o amddiffyn prosesau.

Mae ein peirianwyr fel arfer yn dechrau gyda'r cais, nid y dosbarth hidlo.

Gofynnwn bedwar cwestiwn yn gyntaf:

•Beth yw targed glendid yr ystafell neu'r parth proses?

•A yw'r broses yn sensitif yn bennaf i fiolwyth, gronynnau, neu halogiad moleciwlaidd?

•A all y system amsugno'r gostyngiad pwysedd uwch sydd fel arfer yn dod gyda ffilterau tynnach?

•A yw'r prosiect ym maes gofal iechyd/fferyllfa, neu mewn microelectroneg/lled-ddargludydd?

Yn ddiweddar, fe wnaethom helpu cleient yn Ne-ddwyrain Asia a ofynnodd am U15 i ddechrau ar draws y prosiect cyfan oherwydd bod eu tîm yn tybio bod "gradd uwch yn golygu mwy diogel." Mae'n troi allan dim ond y meysydd proses microelectronic hanfodol angen ULPA. Gallai'r meysydd cymorth aros ar hidlydd terfynell gradd HEPA. Roedd y newid hwnnw'n lleihau baich y ffan a'r gyllideb hidlo heb wanhau'r rheolaethau risg prosesau gwirioneddol.

Dyna’r dull cywir fel arfer. Defnyddiwch ULPA lle mae'n datrys problem wirioneddol. Peidiwch â'i ledaenu i bobman oni bai bod gwir angen y broses.

Cyn i chi gwblhau'r fanyleb, gwiriwch y pwyntiau hyn:

Safon: EN 1822 / ISO 29463, nid -safonau awyru cyffredinol

Dosbarth: H13, H14, U15, U16, neu U17 yn seiliedig ar angen proses

Sail effeithlonrwydd: MPPS ac effeithlonrwydd annatod cyhoeddedig

Gollyngiad Pwysau Cychwynnol: wedi'i gydweddu â'r modiwl ffan, FFU, neu derfynell

Cais: llawdriniaeth / gofal iechyd, pharma, lled-ddargludyddion, neu amgylchedd offer

Risg cyfryngau: cyfrwng gwydr safonol, cyfrwng gwydr boron isel, neu gyfryngau pilen rhad ac am ddim dopant

Adeiladwaith:-cydrannau allnwyo isel os cânt eu defnyddio mewn amgylcheddau electroneg

Profi gollyngiadau: sgan yn unigol-wedi'i brofi lle bo angen gan y rhaglen